[20p-CE-1~9] GaNのエピタキシャル成長とデバイス科学

[20p-CE-1] はじめに

〇白石 賢二¹ (1.名大未来研)

キーワード：GaN、半導体

近年GaNはパワーデバイス材料として注目を集めている。本シンポジウムでは、GaNをパワーデバイス材料として作製するための最も基本となるエピタキシャル成長技術とGaNをパワーデバイスとして用いるための基礎となるデバイス科学について概観する。