[21p-233-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[21p-233-14] 局所クリーン化ミニマル環境コントロールシステム-PLAD (II)

〇谷島 孝^1,2、安井 政治^1,2、三浦 典子²、クンプアン ソマワン^1,2、前川 仁^1,2、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)

キーワード：ミニマルファブ

現在までに、ミニマルファブの前室システムであるPLADのクリーン化とガス遮断を行う、差圧制御・気体循環システムを開発してきた。今回、このシステムの実用化を進めるため、実際にデバイス製造プロセスで使用されているミニマル装置に、本システムが一体化されたPLADを搭載し、従来評価していたクリーン化とともに、ガス遮断性能の確認を行い良好な結果を得た。