[21p-431B-1~7] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[21p-431B-4] MOVPE法によるSi基板上のCdTe成長層の膜厚均一化に関する検討

〇田村 怜也¹、森 拓郎¹、鳥居 稜¹、東良 悠喜¹ (1.名工大院工)

キーワード：結晶成長