11:15 〜 11:30 [17a-B301-9] RF-TSSG法によるSiC結晶成長時の移動現象の3次元解析 〇岡野 泰則1、ワン ライ1、堀内 鷹之1、関本 敦1、宇治原 徹2 (1.阪大院基礎工、2.名大院工)