13:30 〜 15:30 [20p-P6-8] (30-3-1), (20-2-1) GaN基板上のMOVPEエピ高純度化 〇山田 永1、長南 紘志1、高橋 言緒1、山田 寿一1、清水 三聡1 (1.産総研)