14:45 〜 15:00 △ [17p-C204-7] カーボンターゲットを用いたハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング放電におけるイオンの挙動 〇(M1)伊賀 一憲1、小田 昭紀2、上坂 裕之3、太田 貴之1 (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)