10:15 〜 10:30 [19a-C101-5] PDSスピンコーティングによるFinFET向けダメージレスドーピング技術 〇松川 貴1、森 貴洋1、澤田 佳宏2、木下 洋平2、柳 永勛1、昌原 明植1 (1.産総研、2.東京応化工業)