10:45 〜 11:00 △ [19a-E202-7] 深紫外レーザにおける組成傾斜AlGaNクラッド層の検討 〇川瀬 雄太1、池田 隼也1、袴田 淳哉1、林 貴文1、岩山 章1、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1、赤﨑 勇1,2 (1.名城大理工、2.名古屋大)