13:45 〜 14:00 [19p-D103-2] 透明導電性酸化物電極を用いた4H-SiC PiN diodeにおける順方向通電劣化の評価 〇浅水 啓州1,2、西野 潤一1、先崎 純寿1、児島 一聡1、加藤 智久1、奥村 元1 (1.産総研、2.ローム㈱)