15:15 〜 15:30 [18p-C302-7] 放射光光電子分光法によるGaN上GaOx層の熱脱離過程の評価 〇野崎 幹人1、寺島 大貴1、渡邉 健太1、山田 高寛1、吉越 章隆2、細井 卓治1、志村 考功1、渡部 平司2 (1.阪大院工、2.原子力機構)