11:15 〜 11:30 △ [20a-E202-9] その場観察X線回折測定を用いたAlGaN/GaNヘテロ構造評価 〇石原 和弥1、金山 亮介1、平子 涼1、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1、赤崎 勇1,2 (1.名城大理工、2.名古屋大)