16:00 〜 18:00 [19p-P11-6] マグネトロンスパッタ法により成膜された Al 添加 ZnO 透明導電多結晶膜の電気・構造特性の面内分布に対する成膜アルゴンガスの影響 〇野本 淳一1、牧野 久雄1、山本 哲也1 (1.高知工科大総研)