14:00 〜 14:15 [19p-C204-2] 中性粒子ビームとバイオテンプレートを用いた高アスペクト比Siナノピラー構造の作製 〇大堀 大介1、遠藤 和彦1,3、寒川 誠二1,2 (1.東北大流体研、2.東北大AIMR、3.産総研)