[17a-B203-1~10] 3.13 半導体光デバイス

△ [17a-B203-2] 分布反射器を有する半導体薄膜光検出器の構造設計

〇(M1)鄭 叙¹、顧 之琛¹、雨宮 智宏^1,2、西山 伸彦^1,2、荒井 滋久^1,2 (1.東工大工、2.未来研)

キーワード：半導体、光インターコネクト、光検出器

近年、LSIのグローバル配線におけるRC遅延や発熱などの問題から、電気配線からオンチップ光配線への置き換えが注目されている。そのような中、我々は薄膜光集積回路をLSI上にハイブリッド実装する技術を提案しており、そこで用いる受光器として、高速化・高感度化を同時に実現できる「GaInAs薄膜p-i-nフォトダイオード（PD）」の研究を行っている。