[17a-C101-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [17a-C101-10] 中空構造SOI層を用いた低温転写によるフレキシブル基板上での単結晶シリコンCMOS回路作製プロセスの構築

〇水上 隆達¹、山下 知徳¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：フレキシブルエレクトロニクス、単結晶シリコンCMOS回路、プラスチック基板