[17p-P5-1~14] 6.6 プローブ顕微鏡

[17p-P5-8] 加湿大気中で水晶振動子力センサーを用いた原子分解能FM-AFM計測

〇(PC)大江 弘晃¹、新井 豊子¹ (1.金沢大)

キーワード：FM-AFM、大気環境、原子分解能

大気環境でFM-AFMを用いて試料表面の原子分解能観察を行うためには、試料表面に吸着した水分子の制御および、0.1nm以下の微小振幅での計測が重要になる。
本研究では、高湿度環境・微小振幅での表面観察を実現するために、水晶振動子力センサーおよび装置全体に防湿処理を施したFM-AFMの開発を進めている。
これまでに加湿大気中でのKBr(100)表面の原子分解能観察像の取得に成功している。
本発表では、開発中のFM-AFMを用いて、KBr(100)表面を試料とした計測結果から、現在の装置開発状況や、今後の改良方法について報告する。