[18a-D103-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18a-D103-3] CZ炉内のCO濃度（Ⅱ）

〇宮村 佳児¹、原田 博文¹、中野 智¹、柿本 浩一¹ (1.九大　応力研)

キーワード：シリコン、ＣＺ、炭素

シリコンを融解したＣＺ結晶成長装置内のＣＯガス濃度をガスクロマトグラフにより測定した。ＣＯ濃度の、炉内圧、アルゴンガス流量、及び、遮蔽スクリーンと融液の距離に対する依存性を調査し、石英ルツボ内のＣＯ濃度がガス流れに影響されうることが確認できた。