[18a-F202-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

△ [18a-F202-9] 空間光変調器応用に向けた宙吊り高分子膜デバイスの開発

〇英 祐輝¹、生田 昂¹、前橋 兼三¹ (1.農工大院工)

キーワード：空間光変調器、高分子、微小機械装置

空間光変調器応用に向けた宙吊り高分子膜（PDMS）デバイスについて報告する。デバイスを動作させてその応答を測定し、微小変位の制御に対応する応答を検出でき、また、従来のPDMS動作では見られなかった２段階の応答変化が得られた。以上から宙吊りPDMSデバイスの作製およびその電圧駆動動作を実証することができた。