[18p-C103-1~9] フレキシブルセラミックスコーティング技術と有機・無機ハイブリッドフレキシブルデバイスの新展開

[18p-C103-8] 水熱合成によるフレキシブル基板への圧電体成膜

〇舟窪 浩¹、伊東 良晴¹、舘山 明紀¹、中村 美子¹、清水 荘雄¹、黒澤 実¹、内田 寛²、白石 貴久³、木口 賢紀³、今野 豊彦³、石河 睦生^1,4 (1.東工大、2.上智大、3.東北大、4.桐蔭横浜大)

キーワード：圧電体膜