[18p-D102-1~23] 12.4 有機EL・トランジスタ

[18p-D102-16] 閾値電圧制御したペンタセン薄膜トランジスタの論理回路応用

〇高橋 一¹、花房 佑樹¹、木村 由斉¹、北村 雅季¹ (1.神戸大院工)

キーワード：有機トランジスタ、有機半導体

ガラス基板上，RFスパッタリングによるSiO₂膜をゲート絶縁膜とするペンタセンTFTの閾値電圧を酸素プラズマ処理とUVオゾン処理により制御した．その応用としてエンハンスメント/ディプレッション(E/D)型インバータを構成し動作に成功した．