[18p-G201-1~16] SP6 集積化MEMSの発展と展望（集積化MEMS技術研究会発足１０周年記念シンポジウム）

[18p-G201-11] ３次元集積化技術を用いた次世代イメージセンサの研究開発

〇後藤 正英¹ (1.NHK技研)

キーワード：3次元集積化技術、イメージセンサ、A/D変換回路