[18p-P12-1~4] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[18p-P12-3] スピンコート法によるAlOx薄膜形成条件とキャリアライフタイムの関係

〇(B)中澤 侑也¹、春山 雄一²、神田 広之¹、柴山 直之¹、アブドラ ウズム³、伊藤 省吾¹ (1.兵庫県大工、2.兵庫県大高度研、3.カラデニズ工大)

キーワード：パッシベーション