[18p-P5-1~22] 12.6 ナノバイオテクノロジー

[18p-P5-20] 低温原子層堆積によるフォトニック結晶ナノレーザセンサの安定化 (II)
－発振しきい値と化学安定性の堆積温度依存性

〇坂田 晟大¹、渡邊 敬介¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工)

キーワード：原子層堆積、フォトニック結晶ナノレーザ、界面準位

GaInAsPフォトニック結晶ナノレーザを用いたバイオセンシングでは，ナノレーザ表面にZrO₂を原子層堆積させることで，半導体の酸化やエッチングから保護している．今回はZrO₂の堆積温度を様々に変えてナノレーザの発振特性を網羅的に調べ，ZrO₂膜の化学耐性を調査した．低温では界面準位の生成を抑制することで，ナノレーザのしきい値が下がった．しかし，低温堆積は膜の密度が低く，化学的安定性が低いことがわかった．