13:30 〜 15:30 [18p-P5-20] 低温原子層堆積によるフォトニック結晶ナノレーザセンサの安定化 (II)-発振しきい値と化学安定性の堆積温度依存性 〇坂田 晟大1、渡邊 敬介1、馬場 俊彦1 (1.横国大院工)