2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[19a-C104-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

2018年3月19日(月) 09:00 〜 12:15 C104 (52-104)

藤沢 浩訓(兵庫県立大)、清水 荘雄(東工大)

09:00 〜 09:15

[19a-C104-1] 多層PZT薄膜によるMEMSエナジーハーベスタ試作

平井 翔太1、神田 健介1、佐野 良1、藤田 孝之1、前中 一介1 (1.兵庫県大工)

キーワード:圧電MEMS、多層PZT薄膜、エナジーハーベスタ