[19a-C104-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[19a-C104-1] 多層PZT薄膜によるMEMSエナジーハーベスタ試作

〇平井 翔太¹、神田 健介¹、佐野 良¹、藤田 孝之¹、前中 一介¹ (1.兵庫県大工)

キーワード：圧電MEMS、多層PZT薄膜、エナジーハーベスタ