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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[19a-D101-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

2018年3月19日(月) 09:15 〜 11:45 D101 (56-101)

布村正太(産総研)

10:45 〜 11:00

[19a-D101-6] DC重畳RF対向ターゲットスパッタ法によるi-a-Si:Hパッシベーション膜の特性

〇(M1)白取優大¹、ファリスアキラ¹、中田和吉¹、宮島晋介¹ (1.東工大工)

キーワード：パッシベーション、シリコン太陽電池、スパッタ