10:45 〜 11:00 [19a-D101-6] DC重畳RF対向ターゲットスパッタ法によるi-a-Si:Hパッシベーション膜の特性 〇(M1)白取 優大1、ファリス アキラ1、中田 和吉1、宮島 晋介1 (1.東工大工)