[19a-D101-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

[19a-D101-8] 超高次非線形誘電率顕微鏡法によるシリコン太陽電池用Al₂O₃パッシベーション膜の微視的評価

〇柿川 賢斗¹、山岸 裕史¹、棚橋 克人²、高遠 秀尚²、長 康雄¹ (1.東北大通研、2.産総研)

キーワード：非線形誘電率顕微鏡法、パッシベーション、アルミナ

太陽電池用パッシベーション膜として検討されているAl₂O₃について，非線形誘電率顕微鏡法(SNDM)を用いて評価を行った．Al₂O₃/Si界面の容量特性をSNDMを用いて測定することで，界面の固定電荷密度や界面準位密度のバラつきや，それらのアニールによる変化を確認することができた．またアニールによる界面の固定電荷密度の変化を実験結果より定量的に求めた．