2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[19a-D101-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

2018年3月19日(月) 09:15 〜 11:45 D101 (56-101)

布村 正太(産総研)

11:30 〜 11:45

[19a-D101-9] 高温域でのa-Si:H成長速度増大に対するプロトンの関与

豊島 安健1 (1.AIST)

キーワード:アモルファスシリコン、プロトン、成長速度

両極性拡散により成長表面に飛来するプロトンが、高温域におけるa-Si:H成長速度の増大および活性化エネルギーの低下に関与している。今回、プロトンによって引き起こされる一連の表面反応過程の詳細について、DFT計算により明らかにした。その際、プロトンがSi-Si結合に挿入されて生じる正電荷を有する三中心結合の生成とその解離が重要であることが得られた。