[19a-D101-1~9] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[19a-D101-8] Local Evaluation of Al₂O₃ Passivation Layers for Crystalline Silicon Solar Cells by Super- Higher-Order Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy

〇Kento Kakikawa¹, Yamagishi Yuji¹, Tanahashi Katsuto², Takato Hidetaka², Cho Yasuo¹ (1.RIEC Tohoku Univ., 2.AIST)

Keywords:SNDM, Passivation, Al2O3

太陽電池用パッシベーション膜として検討されているAl₂O₃について，非線形誘電率顕微鏡法(SNDM)を用いて評価を行った．Al₂O₃/Si界面の容量特性をSNDMを用いて測定することで，界面の固定電荷密度や界面準位密度のバラつきや，それらのアニールによる変化を確認することができた．またアニールによる界面の固定電荷密度の変化を実験結果より定量的に求めた．