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[19a-D101-8] 超高次非線形誘電率顕微鏡法によるシリコン太陽電池用Al2O3パッシベーション膜の微視的評価
キーワード:非線形誘電率顕微鏡法、パッシベーション、アルミナ
太陽電池用パッシベーション膜として検討されているAl2O3について,非線形誘電率顕微鏡法(SNDM)を用いて評価を行った.Al2O3/Si界面の容量特性をSNDMを用いて測定することで,界面の固定電荷密度や界面準位密度のバラつきや,それらのアニールによる変化を確認することができた.またアニールによる界面の固定電荷密度の変化を実験結果より定量的に求めた.