[19p-A404-1~19] 3.7 レーザープロセシング

△ [19p-A404-18] フェムト秒レーザーを用いたPDMSと銀の複合微細構造作製における銀による光重合への効果

〇片山 暁人¹、中島 康貴²、寺川 光洋^1,2 (1.慶大理工、2.慶大院理工)

キーワード：フェムト秒レーザー、PDMS、レーザー直接描画

本研究では、フェムト秒レーザーを用いて作製したポリジメチルシロキサン (Polydimethylsiloxane, PDMS) /銀複合構造とPDMS構造の生成閾値と線幅を比較し、複合構造生成過程における銀の作用について考察した。複合構造ではPDMS構造に比べ低い生成閾値と小さい線幅を有し、それぞれ銀ナノシードおよび銀イオンが関係していると推察された。レーザ照射条件と、構造の有する寸法や銀の含有量との関係の解明、およびそれに基づく複合構造作製に貢献し得る。