[19p-D103-1~17] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[19p-D103-5] 熱分解炭素被覆サセプタを用いたSiCエピリアクター繰り返しクリーニング

〇倉島 圭祐¹、羽深 等¹、伊藤 英樹²、三谷 慎一²、高橋 至直³ (1.横国大院工、2.ニューフレアテクノロジー、3.関東電化工業)

キーワード：炭化珪素、三フッ化塩素、クリーニング

炭化珪素エピタキシャル膜の表面欠陥発生を抑制するために、三フッ化塩素ガスを用いたSiCエピリアクターのクリーニング方法が提案されている。クリーニングの際にサセプタを保護する被膜材料として熱分解炭素被膜を設けることにより、その上に製膜したSiCを三フッ化塩素ガスを用いたクリーニングにより除去できることが報告されている。本研究では同じサセプタに再度SiCを製膜してクリーニングを試行した結果を報告する。