2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[19p-P10-1~6] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2018年3月19日(月) 16:00 〜 18:00 P10 (ベルサール高田馬場)

16:00 〜 18:00

[19p-P10-5] Ge(111)基板上の歪みSi1-xGex膜成長と臨界膜厚の評価

〇(M2)坂本 優1、山田 道洋2、浜屋 宏平2、澤野 憲太郎1 (1.都市大院工、2.阪大)

キーワード：Ge(111)