[19p-P2-1~9] 1.6 超音波

△ [19p-P2-9] LiNbO₃・LiTaO₃薄板/水晶基板における縦型リーキーSAW特性の基板カット角依存性

〇山谷 浩介¹、林 純貴¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、須崎 遥²、米内 敏文³、岸田 和人³、水野 潤² (1.山梨大学、2.早稲田大、3.日本製鋼所)

キーワード：縦型漏洩弾性表面波、水晶、接合構造