[19p-P4-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[19p-P4-12] モザイク基板上ダイヤモンドショットキーバリアダイオードの特性解析

〇大曲 新矢¹、山田 英明¹、梅沢 仁¹、坪内 信輝¹、茶谷原 昭義¹、関 章憲²、川井 文彰²、斎藤 広明²、杢野 由明¹ (1.産総研先進パワエレ、2.トヨタ自動車)

キーワード：ダイヤモンド、ショットキーダイオード、ウェハ

モザイク基板は，複数枚のダイヤモンド種結晶を平板状に配列しCVD 成長で接合した大口径ウェハである．種基板のオフ方向制御，合成中の基板温度一様性向上等により，接合領域に空隙を含まない40ｘ60 mm² の高品質ウェハが実現している．本研究では，モザイク基板上に擬似縦型ショットキーバリアダイオード (SBD) を作製し，各種デバイス特性を評価した．接合境界部では結晶の不連続性に起因する多数の欠陥を伴うため，デバイス特性劣化が予想されるが，今回試作した素子では境界内／外に関わらず良好な特性 (整流比8桁，最大耐圧4MV/cm) を示した．大口径ウェハとしての有用性を示しており，パワーデバイス用基板として今後の利用が期待される．