[20a-B303-1~11] 7.2 電子ビーム応用

[20a-B303-7] ボルケーノ構造スピント型エミッタの動作チップ数の改善およびその放出電流の測定

田口 広大^1,2、新谷 英世¹、〇村田 英一¹、六田 英治¹、下山 宏¹、長尾 昌善²、村上 勝久² (1.名城大理工、2.産総研)

キーワード：フィールド・エミッタ・アレイ、光電子放出顕微鏡、動作率

これまで我々は、フィールドエミッタアレイ（FEA）の動作状態のその場リアルタイム観察が可能なマルチエミッタ評価用SEEM/PEEM装置の開発を行い、本装置によるFEAのSEEM/FEEM像およびPEEM/FEEM像の同時観察および個々のエミッタからの電流測定について報告してきた。今回、エージングの電圧を比較的高めに実施することにより、動作率を大幅に改善できる可能性があることが分かったので報告する。