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[20a-G202-4] 大気圧CVD法による有機/無機ハイブリットハライド鉛ペロブスカイトの製膜
キーワード:有機無機ペロブスカイト、化学気相成長法、ドライ法
有機無機ハイブリッドペロブスカイト(以下、ペロブスカイト)太陽電池のペロブスカイト層作製において、製膜中の大気中水分の混入および結晶成長速度を抑制し大結晶粒径のペロブスカイト膜を得ることを目指して、大気圧化学気相成長(CVD)法の適用を試みた。CVD原料ガスとしてPbI2およびCH3NH3Iを蒸発させた。その結果、XRD分析よりペロブスカイト結晶の成長が得られていることが確認できた。しかし成長形状は膜状ではなく球状であった。