14:00 〜 14:30 [19p-B01-2] 半導体ダイヤモンドにおける不純物ドーピング制御ならびにデバイス化技術の進展 〇加藤 宙光1、小倉 政彦1、牧野 俊晴1、竹内 大輔1、山崎 聡1 (1.産総研)