[Ap-11] (株)アートレイ
■近赤外線InGaAsカメラ ■近赤外線InGaAs/GaAsSbカメラ
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■RHEED, RHEED解析システム, in-situウエハ温度測定システム, UHVエバポレーター, 真空計, 真空部品 他
■光反応用LED光源 CLシリーズ
■真空ポンプ・測定機器や真空成膜装置など
■超高真空対応の蒸着装置、スパッタ装置ならびに真空コンポーネント機器展示、他
■SPPテクノロジーズが取り扱っていますMEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、犠牲層エッチング装置、SiCエッチング装置や化合物/酸化膜エッチング装置、プラズマCVD装置、PVD装置、分子膜成膜装置(MVD)、熱処理装置、ミニマル装置など各種製造装置をご紹介します。