10:15 〜 10:30 [21a-E311-6] 三フッ化塩素ガスを用いた直径200 mm炭化ケイ素ウェハエッチング装置の設計 〇川崎 稜平1、羽深 等1、高橋 至直2、加藤 智久3 (1.横国大院工、2.関東電化工業、3.産総研)