16:00 〜 18:00 [18p-PA4-16] DLC膜の電気的絶縁性および耐熱性評価 〇(M2)中島 大地1、桒原 大樹2、安中 茂2、藤井 慎也3、森口 秀樹3、辻岡 正憲3、平栗 健二1 (1.東京電機大学大学院、2.仲代金属、3.日本アイ・ティ・エフ)