17:00 〜 17:15 △ [20p-B31-12] 多段ELOによるα型酸化ガリウム結晶の貫通転位密度の低減 〇河原 克明1、大島 祐一2、沖川 満1、四戸 孝1、人羅 俊実1 (1.FLOSFIA、2.NIMS)