09:00 〜 09:15 [20a-E207-1] 980nm帯ヒータ駆動型の面発光レーザ集積ビームスキャナ 〇志村 京亮1、鷹箸 雅司1、許 在旭1、顧 暁冬1、坂口 孝浩1、松谷 晃宏2、小山 二三夫1 (1.東工大未来研、2.東工大技術部マイクロプロセス部門)