13:45 〜 14:00 △ [20p-C310-1] ダイナミックオーロラPLD法を用いたペロブスカイト型酸窒化物CaTaO2N薄膜の作製 〇青島 楓汰1、川口 昂彦1、坂元 尚紀1、鈴木 久男1、脇谷 尚樹1 (1.静大院工)