09:30 〜 11:30 [21a-PA2-22] スパッタ成膜後のその場アニールによるglass基板上AlドープZnO薄膜の特性改善効果 〇諏訪 翁紀1、中村 忠1、沖村 邦雄1 (1.東海大院工)