13:30 〜 15:30 [20p-PB1-10] Si基板上SiO2薄膜の電子線照射による還元反応:還元過程の時間発展 〇藤森 敬典1、千田 陽介1、増田 悠右1、氏家 夏樹1、遠田 義晴1 (1.弘前大院理工)