17:45 〜 18:00 [19p-E206-16] バルクシリコン基板上SiNx光導波路の検討 〇(M2)小山田 亮太1、上野 湧希1、佐々木 駿2、中井 哲弥2、石川 靖彦1 (1.豊橋技科大、2.SUMCO)