13:30 〜 15:30 [19p-PB3-12] 部分的に薄層化したAlGaN 層によるAlGaN/GaN コンタクト抵抗低減効果の薄層領域パターン依存性 〇木村 安希1、久永 真之佑1、星井 拓也1、角嶋 邦之1、若林 整1、岩井 洋1、筒井 一生1 (1.東工大)