14:30 〜 14:45 [20p-E303-4] スパッタリングを用いたAlScN膜の形成 〇蔡 松霖1、草深 一樹1、星井 拓也1、若林 整1、筒井 一生2、角嶋 邦之1 (1.東工大工学院、2.東工大科学技術創成研究院)